Кто знает метод очистки машины для ультразвуковой очистки кремниевых пластин?

Существует три вида физической очистки:

1. Скраб или скраб: может удалить частицы загрязнения и большую часть пленки, прилипшей к пленке.

2. Очистка под высоким давлением: это опрыскивание поверхности листа жидкостью, а давление сопла составляет до нескольких сотен атмосфер. Очистка под высоким давлением с помощью струи, пленка не легко царапается и повреждается. Однако инжекция под высоким давлением вызывает электростатический эффект, которого можно избежать, регулируя расстояние и угол от сопла до пленки или добавляя антистатик.

Ультразвуковая очистка: ультразвуковая энергия в раствор, кавитация для смывания загрязнений с пластин. Однако удалить частицы размером менее 1 микрона из графитовых пластин сложнее. Если частота увеличена до uHF, эффект очистки лучше.

Химическая очистка: для удаления атомных, ионных невидимых загрязнений есть еще методы, экстракция растворителем, травление (серная кислота, азотная кислота, аква-аква, различные смешанные кислоты и т.д.) и плазменный метод. Метод очистки системы перекисью водорода имеет хороший эффект и мало загрязняет окружающую среду.